1.主要用作有機反應催化劑，如酯化、烷基化、聚合、異構化、磺化、硝化等。鑄鎂及合金時的防氧化劑。是制備鹵化硼、元素硼、硼烷、硼氫化鈉等的主要原料。還用于電子工業等。
2.高純三氟化硼是電子、光纖工業的重要原材料之一，是半導體工藝中的重要摻雜源。在焊接鎂材時用作焊劑，BF₃能防止鎂及其合金在熔融鑄造時發生氧化作用，也可作鋼或其他金屬表面硼化處理劑的組分，還用作鑄鋼的潤滑劑。BF3還可作為合成有機硼化物的原料，在許多有機反應和石油制品中，作為聚合、烷基化和冷凝反應的催化劑，BF₃及化合物在環氧樹脂中用作固化劑?？勺鳛橹苽涔饫w預制件的原料。
3. 主要用于半導體器件和集成電路生產的離子注入和摻雜。